Mae SF6, neu sylffwr hecsaflworid, yn nwy a ddefnyddir yn gyffredin mewn ysgythru sych, a ddefnyddir yn bennaf ar gyfer ysgythru silicon yn y broses gynhyrchu lled-ddargludyddion. Mae gan y nwy SF6 strwythur octahedrol, sy'n cynnwys atom sylffwr canolog wedi'i amgylchynu gan chwe atom fflworin. Mae ei briodweddau an-begynol yn ei wneud yn nwy inswleiddio mewn offer trydanol foltedd uchel. Mae priodweddau ffisegol SF6 yn cynnwys di-liw, diarogl, anfflamadwy, nad yw'n wenwynig, inswleiddio, trymach nag aer, gallu oeri, cryfder dielectrig uchel, sefydlogrwydd thermol, a hydoddedd gwael mewn dŵr ond hydawdd mewn toddyddion organig nad ydynt yn begynol.
O ran priodweddau cemegol, prin y mae SF6 yn adweithio â sylweddau eraill ar dymheredd yr ystafell, ond bydd yn dadelfennu o dan olau uwchfioled cryf.
Yn gyffredinol, cynhyrchir SF6 gan ddiwydiant ac mae ei gynnwys ei natur yn fach iawn. Yr hafaliad adwaith ar gyfer cynhyrchu SF6 yw:
2 CoF₃ + SF₄ + [Br₂] → SF₆ + 2 CoF₂ + [Br₂]
Pan fydd SF₄, cof₃ a br₂ yn cael eu cymysgu gyda'i gilydd a'u cynhesu ar 100 gradd, mae adwaith yn digwydd rhyngddynt. Yn yr adwaith hwn, mae rhan o SF₄ a COF₃ yn adweithio i gynhyrchu SF₆ a COF₂. Nid yw bromin yn cael ei fwyta yn yr adwaith, dim ond fel catalydd y mae'n ei weithredu.
Ydy SF6 yn beryglus?
Er nad yw SF6 yn wenwynig yn ei gyflwr pur, bydd yn disodli ocsigen o'r awyr, a bydd crynodiad cyfaint sy'n fwy na 19% yn yr awyr yn achosi mygu. Felly, mae'n bwysig iawn canfod gollyngiadau SF6 mewn modd amserol a chymryd mesurau ataliol priodol yn y broses weithgynhyrchu lled -ddargludyddion.
Defnydd SF6 mewn Diwydiant lled-ddargludyddion
Defnyddir SF6 yn eang mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Yn y broses ysgythru silicon, defnyddir SF6 fel y prif nwy ysgythru, ac mae'n cydweithio â'r nwyon anweddol a gynhyrchir SF4 a C4F8 i gyflawni ysgythru silicon dwfn. Yn ogystal, defnyddir SF6 yn aml ar gyfer ysgythriad sych o fetelau Mo a W, gan adweithio â'r metelau hyn i gynhyrchu hecsaflworidau anweddol MoF₆ a WF₆. Er nad SF6 yw'r nwy dewisol ar gyfer ysgythru alwminiwm, gellir ei ddefnyddio fel nwy ategol i wella cyfradd ysgythru alwminiwm wrth ei gymysgu â nwyon fel Cl₂.
Ysgythru Silicon
Yn y cam ysgythru silicon, dim ond y silicon ar y gwaelod lle mae'r ffilm pasio wedi'i thynnu wedi'i hysgythru. Cyflwynir nwy SF6, ac mae SF6 yn cael ei ddadgysylltu yn y plasma i gynhyrchu amrywiaeth o gynhyrchion dadelfennu, gan gynnwys atomau fflworin hynod weithgar (F).
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
Mae'r atomau fflworin a gynhyrchir yn adweithio â'r wyneb silicon i gynhyrchu tetrafluorid silicon (SiF4), cyfansoddyn anweddol sy'n cael ei ollwng yn hawdd o'r siambr.
Si+4F-->Sif4
Gwaelod haen passivation ysgythru
Ar y cam hwn, mae haen goddefol yn cael ei ffurfio ar y wal ochr a'r gwaelod. Fodd bynnag, dim ond i amddiffyn y wal ochr rhag cael ei ysgythru yr ydym am gadw'r haen goddefol ar y wal ochr, ond mae angen i ni dynnu'r haen goddefol ar y gwaelod er mwyn ysgythru i lawr. Felly, bydd nwy SF6 yn cael ei gyflwyno ar hyn o bryd i ymosod ar yr haen passivation ar y gwaelod. Ar ôl i'r haen passivation ar y gwaelod ddiflannu, mae SF6 yn parhau i ysgythru'r silicon, ac mae'r cylch yn ailadrodd ei hun, fel dolen ddiddiwedd.
Ffatri Hecsaflworid Sylffwr Sf6 Un-Stop Yn Tsieina
Anfonwch eich ymholiad am Nwy SF6 Hexafluoride Sylffwr atom ni!
Byddwn yn darparu nwy a gwasanaethau SF6 o ansawdd uchel i ddiwallu'ch anghenion prynu.
Anfon ymholiad nawr
